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洁净室

• 物理参数

洁净度等级：根据空气中颗粒物的数量和大小来划分，常见的有ISO 1-9级，以及中国的万级、十万级、百万级等标准。这些等级反映了洁净室内空气的洁净程度。 换气次数：单位时间内洁净室内空气的更换次数。不同洁净度等级的房间有不同的换气次数要求，例如十万级洁净室为10-15次/小时，万级洁净室为15-25次/小时，千级洁净室为50-52次/小时等。 温湿度：洁净室内的温度和湿度需要控制在一定范围内，以保证生产过程的稳定性和产品质量。通常，温度控制在冬季>16℃±2℃，夏季<26℃±2℃，而湿度控制在45-65%（RH）之间。 压差：洁净室与其相邻房间之间需要保持一定的压差，以防止外界空气未经处理就进入洁净室。主车间对相邻房间的压差应≥5Pa。 噪声：洁净室内的噪声应控制在一定范围内，以保证人员的舒适度和避免对生产过程造成干扰。噪声通常要求≤65dB(A)或更低。 照度：洁净室内的照度应满足生产和操作的需求。照度要求通常≥300Lux，但在一些特殊区域，如工作台、检查台等，照度可能要求更高。 空气流速与气流分布：洁净室内的空气流速和气流分布对维持洁净度至关重要。通过合理设计送风口、回风口和气流组织方式，可以实现均匀的气流分布和适当的空气流速。 静电控制：在微电子等行业中，静电可能对产品质量造成严重影响。因此，洁净室需要采取适当的静电控制措施，如使用抗静电材料、设置静电消除器等。

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