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洁净车间气密性检测方法

2021-11-24 阅读 40418

洁净车间竣工后,需要对洁净车间进行多种检测和测试项目,目的是检查和了解清洁车间的各项指标是否合格。

1.压力衰减:使洁净车间达到一定压力(正压或负压),然后关闭供压或负压系统,仔细观察压力随时间慢慢减少,然后记录压力减少到开始压力的二分之一时间,即测量洁净车间(室)正压或负压的半衰期。

2.恒压法:在洁净车间内达到某个正压的同时,在洁净车间内补充气体,使室压达到要求的稳定值而不减低时的补充气体量是泄漏量。在洁净车间内达到某个负压,使室压维持要求的稳定值,不减低时的抽气量是泄漏量。

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